|
|
| Vị trí hiện tại: Trang chủ> Sản phẩm |
|
|
giải thích：
|
Hạng mục
|
Tham số
|
|
Mẫu
|
PV-410
|
PV-420
|
|
Vật liệu dạng tấm
|
Trong suốt/Bán trong suốt/Đục
|
|
kích thước bánh wafer
|
4~12寸
|
|
Phương pháp giá đỡ wafer
|
Hấp phụ chân không
|
|
phạm vi công việc
|
0~360deg
|
|
Độ lệch
|
±0.1mm,±0.1deg
|
|
Tốc độ tìm kiếm cạnh
|
max:120rpm
|
|
Độ sạch
|
Class 1@0.1um
|
|
Trọng lượng
|
3.5kg
|
4.0kg
|
|
Thể tích
|
L322*W150*H212mm
|
L322*W170*H240mm
|
|
Xưởng vụ
|
Chân không
|
-70~-80kPa,10L/min
|
|
Nguồn điện
|
1 pha AC220V,50/60Hz
|
|
Môi trường
|
Nhiệt độ
|
15~25℃
|
|
Độ ẩm
|
20~60%
|
|
|
|
|
|
