|
Mô hình Robot
|
Robot cán wafer khí quyển tiêu chuẩn dòng RW-A000D
|
|
2 cánh tay máy tiêu chuẩn
|
2 cánh tay máy trọng tải cao
|
|
Tính năng
|
Hành trình
|
Trục Z
|
300/450/500mm
|
|
Trục T
|
0~340°
|
|
Trục R/W
|
sải cánh：156mm/190mm/260mm
|
|
Tốc độ cao nhất
|
Trục Z
|
500mm/s
|
|
Trục T
|
260°/s
|
240°/s
|
|
Trục R/W
|
1100mm/s
|
750mm/s
|
|
Khả năng lặp lại
|
Trục Z
|
±0.1mm
|
|
Trục T
|
±0.02°
|
|
Trục R/W
|
±0.1mm
|
|
Tổng quan
|
số lượng trục điều khiển
|
4 （Mức mở rộng tối đa: 8）
|
|
độ sạch
|
Class 1@0.1um
|
|
trọng tải
|
1.5kgf(Bao gồm bộ phận đầu cuối)
|
4kgf (Bao gồm bộ phận đầu cuối)
|
|
hình thức lắp đặt
|
Trên/Dưới (Lắp đặt)
|
|
Chiều dài cáp (robot-bộ điều khiển)
|
3m(tiêu chuẩn)
|
|
Kích thước hộp điện
|
435x300x155mm
|
|
Giao diện I/O
|
8IN;8OUT
|
|
Xưởng vụ
|
nguồn điện
|
Một pha AC220V,50/60Hz
|
|
nguồn khí
|
Khí nén
|
Lớn hơn 0.4~0.5MPa
|
|
chân không
|
Nhỏ hơn -50~-70kPa
|
