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Orient Robotics Technology Co., Ltd
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产品说明：
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项目
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参数
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型号
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PV-410
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PV-420
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晶圆材质
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透明/半透明/不透明
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晶圆尺寸
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4~12寸
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晶圆承载方式
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真空吸附
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工作范围
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0~360deg
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定位精度
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±0.1mm,±0.1deg
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寻边速度
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max:120rpm
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洁净度
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Class 1@0.1um
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重量
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3.5kg
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4.0kg
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体积
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L322*W150*H212mm
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L322*W170*H240mm
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厂务
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真空
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-70~-80kPa,10L/min
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电源
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单相AC220V,50/60Hz
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环境
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温度
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15~25℃
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湿度
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20~60%
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