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Orient Robotics Technology Co., Ltd
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产品说明:
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名称
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PS-12U
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性能
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动作对象
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200mm SMIF Pod
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重复定位精度
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士0.1mm
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开关盒行程
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220mm
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开盒时间
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13s
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关盒时间
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14s
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片盒检查
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RFID读取、mapping、晶圆探出检测、手臂误入检测、落座检测
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概述
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安装形式
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桌上型
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洁净度
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Class 1@0.1um
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外形尺寸
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436Wx421Dx770H(mm)
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本体重量
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35kg
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厂务
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电源
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单相AC220V,50/60Hz
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