|
Orient Robotics Technology Co., Ltd
|
| 当前位置:首页 > 产品展示 |
|
|
产品说明：
|
项目 参数
|
|
性能
|
行程
|
Z轴(升降)
|
585mm(可定制)
|
|
Theta轴(旋转)
|
340deg
|
|
R1/R2/W1/W2轴(伸缩)
|
445mm
|
|
最高速度
|
Z轴(升降)
|
650mm/sec
|
|
Theta轴(旋转)
|
250deg/sec
|
|
R1/R2/W1/W2轴(伸缩)
|
1500mm/sec
|
|
重复定位精度
|
Z轴(升降)
|
±01mm
|
|
Theta轴(旋转)
|
±0.02deg
|
|
R1/R2/W1/W2轴(伸缩)
|
±0.1mm
|
|
最小回转直径
|
φ585mm
|
|
可达半径
|
580mm
|
|
概览
|
支持wafer尺寸
|
6寸/8寸/12寸
|
|
洁净度
|
Class 1@0.1um
|
|
负载
|
1.0kgf
|
|
Fork
|
Fork形式
|
捞取
|
|
Fork材质
|
陶瓷
|
|
厂务
|
电源
|
单相AC220V,50/60Hz
|
|
|
|
|
|
