Orient Robotics Technology Co., Ltd
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炉管机器人
产品说明：
型号
RC-010F-08
搬运对象
8寸晶圆
最大负载
5片晶圆
φ500mm
运动范围
回转轴
±110°
伸缩轴
400mm
变距轴
4.7~10mm
升降轴
1000mm
搬运速度
(max)
回转轴
360°/s
伸缩轴
500mm/s
变距轴
15mm/s
升降轴
500mm/s
重量(不含电箱)
70~80kg
越南東方科技有限公司@版权所有
