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Orient Robotics Technology Co., Ltd
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产品说明:
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机器人型号
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RW-A000D系列标准大气晶圆机器人
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双臂标准
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双臂高负载
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性能
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行程
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Z轴
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300/450/500mm
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T轴
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0~340°
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R/W轴
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臂展:156mm/190mm/260mm
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/最高速度
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Z轴
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500mm/s
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T轴
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260°/s
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240°/s
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R/W轴
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1100mm/s
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750mm/s
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重复定位精度
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Z轴
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±0.1mm
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T轴
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±0.02°
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R/W轴
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±0.1mm
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概述
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控制轴数
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4 (最多可拓展至8)
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洁净度
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Class 1@0.1um
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负载
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1.5kgf(含末端执行器)
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4kgf (含末端执行器)
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安装形式
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顶部/底部(安装)
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线缆长度(机器人-控制器)
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3m(标准)
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电箱尺寸
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435x300x155mm
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I/0接口
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8IN;8OUT
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厂务
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电源
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单相AC220V,50/60Hz
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气源
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压缩空气
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大于0.4~0.5MPa
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真空
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小于-50~-70kPa
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